测量型金相显微镜 |
产品用途 |
测量型金相显微镜是一种兼顾影像与目视的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统,可人工观察金属表面的金相组织结构,是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主,也可作三维辅助测量,广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面等工业领域。 |
产品特点 |
● X、Y、Z轴0.5μm分辨率; ● 高精度非接触式光测高度量测模块; ● Z轴粗调/微调旋钮; ● 同轴表面光/底光测量; ● 内建偏光量测光学模块; ● 可量测透明材质纳米级高度差 |
规格型号 |
MTM-1510M |
MTM-2010M |
工作行程X、Y、Z轴 |
150*100*120(mm) |
200*100*120(mm) |
金属台尺寸 |
210*160(mm) |
260*160(mm) |
玻璃台尺寸 |
354*228(mm) |
404*228(mm) |
光学尺分辨率 |
0.5μm |
示值误差 |
X、Y坐标≤(3+L/75)μm (L为测量长度,单位mm) |
影像系统 |
彩色1/2"CCD摄像机;640*480像素;结合测量软件 |
显微镜系统 |
目镜:10倍 |
滤光片:红,蓝,绿,白 |
测量模式:反射,透射,偏光 |
5孔物镜转换器 |
物镜放大倍率误差 |
包括畸变在内的放大率误差≤0.008% |
总放大倍数 |
50X——500X |
照明系统 |
透射照明光源:白光LED,亮度可调 |
同轴照明光源:卤素灯,亮度可调 |
物镜 |
倍率 |
5X |
10X |
20X |
50X |
工作距离(mm) |
26.1 |
20.2 |
8.8 |
3.68 |
高度量测模块(选配件) |
光干涉高度量测模块(M10-CA),高度量测分辨力0.5μm(选配) |
倍率:10X,工作距离5mm,光学分辨力2μm |
其它参数 |
外形尺寸(mm) |
590*560*850 |
仪器重量(kg) |
100 |
110 |
电源功耗 |
110V—220V 50/60Hz <60W |
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