通常用净化效率和净化后烟气中有害物质的浓度这两个指标来对净化装置进行评价。

净化效率只是一个相对指标，它与烟气中有害物质的初始浓度及物化性质直接有关，因此不能完全反映净化装置的工作能力。至于净化后烟气中的有害物质浓度，是大气污染控制的一项重要指标，它只表明净化后烟气的性质，不能说明净化装置的工作效能。因此，一般同时用这两个指标评定一个净化装置的优劣及其环境保护中的作用。