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| 测量型金相显微镜 | ||||
| 产品用途 | ||||
| 测量型金相显微镜是一种兼顾影像与目视的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统，可人工观察金属表面的金相组织结构，是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主，也可作三维辅助测量，广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面等工业领域。 | ||||
| 产品特点 | ||||
| ● X、Y、Z轴0.5μm分辨率； ● 高精度非接触式光测高度量测模块； ● Z轴粗调/微调旋钮； ● 同轴表面光/底光测量； ● 内建偏光量测光学模块； ● 可量测透明材质纳米级高度差 | ||||
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规格型号 |
MTM-1510M |
MTM-2010M | ||
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工作行程X、Y、Z轴 |
150*100*120（mm） |
200*100*120（mm） | ||
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金属台尺寸 |
210*160（mm） |
260*160（mm） | ||
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玻璃台尺寸 |
354*228（mm） |
404*228（mm） | ||
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光学尺分辨率 |
0.5μm | |||
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示值误差 |
X、Y坐标≤（3+L/75）μm （L为测量长度，单位mm） | |||
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影像系统 |
彩色1/2"CCD摄像机；640*480像素；结合测量软件 | |||
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显微镜系统 |
目镜：10倍 | |||
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滤光片：红，蓝，绿，白 | ||||
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测量模式：反射，透射，偏光 | ||||
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5孔物镜转换器 | ||||
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物镜放大倍率误差 |
包括畸变在内的放大率误差≤0.008% | |||
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总放大倍数 |
50X——500X | |||
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照明系统 |
透射照明光源：白光LED，亮度可调 | |||
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同轴照明光源：卤素灯，亮度可调 | ||||
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物镜 | ||||
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倍率 |
5X |
10X |
20X |
50X |
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工作距离（mm） |
26.1 |
20.2 |
8.8 |
3.68 |
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高度量测模块（选配件） |
光干涉高度量测模块（M10-CA），高度量测分辨力0.5μm（选配） | |||
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倍率：10X，工作距离5mm，光学分辨力2μm | ||||
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其它参数 | ||||
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外形尺寸（mm） |
590*560*850 | |||
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仪器重量（kg） |
100 |
110 | ||
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电源功耗 |
110V—220V 50/60Hz <60W | |||
